深冷空分製氮是一種傳統的製氮（氮氣）辦法，已有近九十年的前史。它是以空氣為原料，經過壓縮
、淨化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物
，利用液氧和液氮的沸點不同(在1大氣壓下
，前者的沸點為-183℃，後者的為-196℃)，經過液空的精餾，使它們分離來獲得氮氣。深冷空分製氮設備複雜、占地麵積大
，基建費用較高，設備一次投資較多，運轉本錢較高，產氣慢(12～24h），設備要求高、周期較長。綜合設備
、設備及基建諸因素，3500Nm3／h以下的設備
，相同標準的PSA設備的投資規模要比深冷空分設備低20％～50％。深冷空分製氮設備宜於大規模工業製氮
，而中

、小規模製氮就顯得不經濟。