
液態氬氣廣泛應用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉,還用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延、離子注入、載流、燒結等。用作ICP,氣相色譜儀等儀器的載氣,標準氣、平衡氣等。

高(gao)純(chun)液(ye)氬(ya)是(shi)沸(fei)點(dian)在(zai)氧(yang)氣(qi)和(he)氮(dan)氣(qi)之(zhi)間(jian)的(de)一(yi)種(zhong)氣(qi)體(ti),空(kong)氣(qi)中(zhong)就(jiu)存(cun)在(zai)不(bu)到(dao)百(bai)分(fen)之(zhi)一(yi)的(de)氬(ya)氣(qi),處(chu)於(yu)空(kong)氣(qi)分(fen)離(li)裝(zhuang)置(zhi)的(de)中(zhong)間(jian)部(bu)分(fen),在(zai)將(jiang)氧(yang)氣(qi)和(he)氮(dan)氣(qi)分(fen)離(li)出(chu)來(lai)的(de)同(tong)時(shi),將(jiang)氬(ya)氣(qi)抽(chou)出(chu),進(jin)行(xing)下(xia)一(yi)步(bu)的(de)提(ti)純(chun),得(de)到(dao)高(gao)純(chun)液(ye)氬(ya),也(ye)可(ke)以(yi)生(sheng)產(chan)出(chu)其(qi)他(ta)氬(ya)副(fu)產(chan)品(pin)。

工業液氬用於焊接,不鏽鋼製造,冶煉以及半導體工業中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延擴散、多晶矽離子注入載流燒結。

罐裝液氬無色、無味、無臭的惰性氣體,化學性質極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3 (21.1℃,101. 3kPa),液體密度1394.Okg.m-3(一185.9℃,101. 3kPa)。沸點- 185.9℃。熔點-189.2℃。