液化三氟化氮有什麼危害?
液化三氟化氮化學式NF₃,在常溫下是一種無色、無臭、xingzhiwendingdeqiti,shiyizhongqiangyanghuaji。yehuasanfuhuadanzaiweidianzigongyezhongzuoweiyizhongyouliangdedenglizishikeqiti,zailizishikeshiliejieweihuoxingfulizi,zhexiefuliziduiguihewuhuahewu,gaochunyehuasanfuhuadanjuyouhaodeshikesulvhexuanzexing(對氧化矽和矽),它在蝕刻時,在蝕刻物表麵不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片製造、高能激光器方麵得到了大量的運用。
液化三氟化氮是低毒性物質,但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發生強烈反應,引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應,甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解,甚至發生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡,但出現高鐵血紅蛋白血症,當吸入10000ppm·l小時有死亡,在2500ppm時吸入毒後4小時死亡。高容許濃度:10ppm(29mg/m3)。
如何才能不超過這個10ppmnongduxianzhine?jiuxuyaoyongdaoyehuasanfuhuadanjianceyi,shiyongyehuasanfuhuadanqitinongdujianceyikeyijianceqinongdu,gudingshiyehuasanfuhuadanjianceyianzhuangyuqitiyixieludedidian,qihexinbujianweiqitichuanganqi,dangyehuasanfuhuadanxieluhouhuifachulaideqitichuanganqijiechufanying,gudingshiyehuasanfuhuadanjianceyibianhuiqidongzishendebaojinggongnengshengguangbaojing,jingxinggongzuorenyuan。
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