高純三氯化硼 高純三氯化硼​用作矽和鍺外延、擴散和離子注入過程的P型摻雜源。用於光導纖維、藥品和耐熱塗料的製造。還可用作鋁的氣相刻蝕劑。製造IMDRAM需用三氯化硼，可提高集成電路產率。